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南大光电:有两款ArF光刻胶进入批量验证阶段

2023-09-09 02:51:31      来源:百度新闻


(资料图)

【南大光电:有两款ArF光刻胶进入批量验证阶段】财联社9月8日电,南大光电接受调研时表示,ArF光刻胶验证阶段主要分为PRS(光刻胶性能测试)、STR(小试)、MSTR(批量验证)及Release(通过验证)四个阶段。公司已有两款胶通过客户验证,多款胶正在验证过程中。验证中的ArF光刻胶因开始时间不一,验证进度也不同,其中有两款胶进入MSTR阶段。当前公司光刻胶事业部主要任务是尽快完成更多产品的验证,加强市场拓展,争取早日实现规模量产,形成业绩贡献。

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